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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

该项目底色 某较大型半导体设备制造出工业工厂是在长三角经济圈型东北部,核心产出晶圆和基带芯片。在产出全过程中,晶圆切除和镜面抛光一阶段出现海量考虑液污废水 ,日访问量污染问题物量约50吨。考虑到污废水 中所含高渗透压浮动物、金属材料阴阳离子及有机会使用剂,直接性污染问题物会对条件产生特别严重污染问题,工业工厂急需用钱设计专业整理基础设施。 生产废水组成成分及源头 研磨设备液废水处理方法大部分来源地于晶圆生产加工中的电学机戒打磨抛光(CMP)繁琐流程,大部分污染源物还包括: 悬屏颗粒剂物 :二硫化硅、硫化铝等考虑科粒,粒级在0.1-1μm,渗透压达到2000mg/L。 废金属阴离子 :铜、铁、锌等,源自抛光剂垫磨损情况及晶圆界面重金属层,铜化合物质量浓度约50mg/L。 有机化学“抗氧化剂 :有从表面活性酶剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 腐蚀性性物料 :pH值下降大,常见在2-11区间内。 加工处理方法流程步骤 应对化工废水因素,用于“预解决+生物化+宽度解决”组合成制作工艺: 可以调节池 :教育均衡发展水的质量的水量,移除强酸强碱转换pH至中性粒细胞。 混泥土沉淀物 :加药PAC(聚合物氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),剔除浮动物和氢氧化铁,沉降后SS剔除率>90%。 催化剂的作用氧化反应 :运用Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)生物降解充分加上剂,COD清理率达60%。 海洋生物处理 :MBR膜动物症状器进一点生物降解已满可挥发物,COD减至100mg/L之下。 亚铁离子互转 :上用树脂材料吸附物铜阳离子,冒水铜水平<0.5mg/L。 砂滤+抗逆性炭过滤程序 :保证 留水纯净,符合《污泥一体化排放物条件》(GB8978-1996)3级条件。 不可能成效 系统的作业稳固后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。 循环率达40%,剩下不合格的的排放,年抑制生活污水的的排放1.10万吨。 处理利润约15元/吨,远不超过餐饮行业平均值。

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