半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
工程项目历史背景
该中小中小型企业坐落在浙江省天津市,包括进行高档次光电器件基带芯片的封口测试软件,日尾气尾气排放废出水量约200吨。可能产出过程中 中使用的许多化学上的化学剂,污废水 化学成分很复杂,具有刺激性高浓硫酸浓度铜、镍等血本属同时硅橡胶硅橡胶、光刻胶等生物碳影响物。中小中小型企业以往除理配套设施是没办法要求新型尾气尾气废水排放标准规范,急用发展提升。
废气营养成分及种类
化学镀生活污水
:起出自于电源芯片引脚真空电镀道工序,包含的铜、镍、锡等血本属正离子,pH值波动性大。
有机肥料化工废水
:主要是来于封装形式胶固定、光刻工艺技术,具有环氧漆树脂材料、异丙醇、甲苯等有机物高沸点溶剂。
腐蚀性工业废水
:发生于晶圆进行维护清洁和蚀刻程序,具有刺激性氢佛酸、氢脱色钾、氢脱色钠等。
办理工艺步骤流程步骤流程
预清理时候
酸碱度中合
:能够 投加平台调接pH至6-9,尽量避免之后的外理设配金属腐蚀。
混凝土结晶
:污泥脱水PAC(汇聚氯化铝)和PAM(PP酰胺),清除悬浮物物和区域血本属。
内在外理阶段性
最高级脱色
:用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)工业制硝酸难溶解无机物,COD出掉率达70%上面。
膜滤过
:反融合膜(UF)+反融合(RO)组合公式方法,进一部挪用血本属和降解性有机化学物。
淬硬层净化处理第一阶段
亚铁离子交換
:专而对铜、镍亚铁离子,保持溢水血本属含量的不高于0.5mg/L。
灵活性炭包吸
:看做不可能保险,取除残余微量分析生产物。
之后功能
经解决后,满水后水源起到《网上工业企业水水废水尾气排放规格》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收率大幅提升至60%,年年节电供水料工费约80万块。