半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
创业项目题材
该机构的为欧洲当先的半导体技术公测机构的,设在珠半圆位置,首要使用高级处里器的小学划片和封裝检验。犹豫本土环保节能规定要求按照严格,机构的决定的制定一个废水处里工艺零废气排放工作。创业项目于22年开机,202一年6月竣工建厂,处里数量为200吨/日,总融资约2000W。
废渣因素及来源于
这项目地片区废水处理更具以上亮点:
高氧化还原电位氟化物,主要根据晶圆打磨后的清洁生产工艺,氟亚铁离子氧化还原电位超过150-200mg/L
包含的纳米级级硅粉小粒,粒度分布多在100-500nm范围内
可挥发热负荷较高,COD在500-800mg/L
有效微量分析血本属如铅、镉等
纯水电导率高,一般是在2000-3000μS/cm
治理加工过程鑫霖环保流程
为实行0排放物制定目标,加工制作工艺 设置注重考虑到电镀废水类别持续和物资回收处理:
生活污水进行分类搜集操作系统
:将含氟电镀废水处理方法与一些电镀废水处理方法在一起分类整理
药剂学滤渣除氟
:用到二级钙盐悠长岁月中法,紧密配合有效率悠长岁月中池
高级的阳极氧化外理
:O3促使硫化光降解难处理可挥发物
膜浓缩液设备
:采用了DTRO碟管式反渗,果汁3的倍数为10倍
多效蒸发晶体
:MVR机制水蒸汽再进行压缩减压蒸馏器操作浓水
变干体统
:将沉淀盐潮湿后当作产业副企业产品外售
操作郊果
体统作业数据库体现 :
氟化物除掉率>99.9%,出水出水氟阴阳离子<1mg/L
COD总清理率>98%,溢水COD<20mg/L
水能源再利用率>95%,仅生产一定量心得盐
次年可再生资源分类处理高品控中水回用水约16万吨
凝结盐含量到达工农业级规则,实现了环境污泥处置合理利用
工程不但建立了污水0排放物,还用市场收购 制造了约80万元左右/年的附加投资回报。