该晶圆制作业厂处在豫东地域,主耍加工89英寸半导体行业晶圆,每日电镀废水尾气直接排放的标准量约800吨。在加工整个过程中施用大规模盐酸确定晶圆蚀刻,促使电镀废水里氟化物氧浓度高达独角兽200-300mg/L,远超地方尾气直接排放的标准的标准(10mg/L以内)。
污水化学成分及特征
废污水常见来于四个要素:
晶圆蚀刻步骤
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、盐酸及少量出巨资属
催化机戒增加光泽(CMP)电镀废水
:含奈米级硅顆粒、充分络合剂
机器设备清理污水
:含异丙醇、氟化物等有机的物
加工技艺环节
运用"普通机械放置+混凝土放置+淬硬层脱水"三级职业资格证书治理平台:
第一净化处理
:污泥脱水氯化钙和氢氧化物钙,确立氟化钙沉淀物中,氟化物取除率达85%
二次元净化处理
:填加PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),彻底清除固体态水空气污染物
三类补救
:在多导电介质过滤程序器和特异性炭吸,出水出水氟化物密度稳定性在8mg/L下面
关键所在主设备比如:pH手动调理平台、斜管沉淀物池、板框带式压滤机(活性污泥出现脱水)。
从而郊果
业务加载五年期监控大数据现示:
氟化物一般氧化还原电位:7.2mg/L(降至国家标)
COD彻底清除率:92%
废水水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副好产品约150吨,实现目标信息化应用