该厂为8英尺晶圆产出线相互配套的超纯净水系统性,一天形成含硅废水办理150吨。废水办理中虽无天价属,但硅分子量高易积垢,且功率电阻率需提升18MΩ·cm才能够中水回用。以往办理工学艺难以充分考虑新颁行的《智能化学工业水破坏物产生规格》(GB39731-2020)相当产生限制值。
废液组成成分特色
通常影响物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(颗粒直径0.1-1μm)
特异的标准
:TOC<10μg/L,硼含量的<5μg/L
水环境性状
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅类化合物形式复杂化
清理工作流程工作流程
企业创新按照"梯级膜转移+电去铝离子"组合起来施工工艺:
微滤预处里
:1μm瓷器膜过滤大粉末硅,通量确保80LMH
铁离子互换树脂胶
:D201大孔光敏树脂的目的性粘附硅酸原子
特殊RO系统化
:第一名段的回收利用率60%,2.段主要采用高脱硼膜pcb板
EDI电去正离子
:交流电高密度2A/m²,将持续洗去残留物阴离子
太阳光的紫外线杀菌的
:254nmUV紫外线灯线含水量40mJ/cm²
技术水平不足之处
设计专属阻硅剂(无机胺类组合物),廷缓膜空气污染时间间隔3倍
EDI摸块革新流道定制,硅的还原率提升自己至99.8%
网络硅概述仪(检测标准0.1-500μg/L)建立精准度调节
运营作用
经第四方的检测:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼含铁从8μg/L下降0.3μg/L
装置回收公司率从原40%大幅提升至68%
膜拆换周期时间不断增加至5年,年执行制造费下降35%