某光电器件制造技术品牌因晶圆拆洗工作发生含氨废污水，储水量200吨/天。废污河中除高锰酸盐指数外还内含氟化物和轻微血本属，清理的难度大。本省废气标准的要求高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废污水的成分及种类 晶圆洗涤生活污水（具体由来）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀环节焦化废水：含轻微铜、镍等巨资属，pH值起伏较大大 CMP碾磨废水处理方法：含硅颗粒物及挥发酚 除理方法步骤流程 主要包括"电学积淀+膜分離+折点氯化"组合式流程： 预净化处理 ：加药CaCl2除氟，把控pH在7.5-8. 反渗透膜控制系统 ：我们要除0.01μm左右粒子物 反渗溶缩 ：将氯离子提液至1000mg/L上面 折点氯化 ：精准操控氯加药系统量，将挥发酚转成为惰性气体 亚铁离子置换 ：有效保障了高价属考核标准 结果是体验 氟化物稳固＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 巨资属纯度大于论文检测限 水工业废水处理率达75% 厌氧颗粒污泥制造量减轻40%