苏州某半导体鑫霖环保芯片鑫霖环保芯片营造厂，晶圆鑫霖环保进程中生产含硅、氟的特种污水，的设计解决经营规模1200吨/日。污水化学成分缜密，含纳米技术级硅科粒及氢佛酸，中国传统解决方法步骤仍未合格。 污水化学物质及的来源 重要水有害物质 ：固体硅（100-500nm粒度）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原制作工艺 ：晶圆刻蚀废污水（45%）、CMP化工机械制造拋光废污水（40%）、环保设备擦拭水（15%） 进行处理新工艺标准流程 自主创新按照"耐腐蚀发展+特种工艺膜分开"高技术路经： 钙盐凝固 ：加药系统氯化钙消除氟阴离子（转为CaF2析出） 二沉池的反应 ：和好斜管沉淀池剂达到悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜虚报冒领微细颗粒剂 超滤法装置 ：脱盐率>98%，收回率75% 挥发成果 ：浓水段推动氟化物达标排放标准 终于功效 氟化物溶液浓度：<8mg/L（大于欧洲国家级通过成绩标准规定10mg/L） 硅成分：<5mg/L 水教育资源使用率：70%广泛用于冷去塔补湿 垃圾回收利用：汽化残留物量较传统性加工过程极大减少60%